BURKERT841型氣體流量控制器

    BURKERT841型氣體流量控制器必要時可以設置為 MFC 或者 MFM，且規定用于 büS 或者 CANopen 網絡中。büS 網絡技術以 CAN 物理層為基礎，Bürkert 特別為涉及多個控制回路（通過工業以太網或者其他現場總線加以驅動）的應用而對其進行了研發。型號為 ME2X 的系統控制單元將客戶的以太網通信傳輸到所有者的 büS 中，并驅動所有相連的電子設備。 設備之間的通信可以在 büS 和 CANopen 之間切換。借此，8741 型也可以集成到現有的 CANopen 基礎設施中。 BURKERT841型氣體流量控制器借助 MEMS 傳感器進行氣體質量流量的測量（用作 MFM）或者調節（作為 MFC）工作。傳感器直接接觸氣體，因而可以在幾百毫秒之內極其快速地做出反應。此外，測量工作不受壓力或者溫度波動的影響。可以對 MFC/MFM 進行校準，使其用于測量/調節兩種不同的氣體，用戶可以在這兩種氣體之間進行切換。

技術數據：
額定流量范圍：10 mlN / min至160 lN / min（N2）
調低比例：50：1，可選100：1
工作介質：中性，無污染氣體，其他要求
校準介質：使用氣體或空氣
大操作壓力（超壓至大氣壓力）：10巴（145 psi），MFC大。 壓力取決于閥的孔口
介質溫度：-10°C至+70°C（-10°C至+60°C，含氧氣）
環境溫度：-10至+50°C（根據要求可提供更高的溫度）
測量精度：±0.8％o.R. ±0.3％F.S.（1分鐘預熱時間后）
重復性：±0.1％F.S.
沉降（MFC）/響應（MFM）時間（t95％）：<300 ms

工作原理：
    實際流量由傳感器檢測。這根據熱原理工作，該原理具有提供獨立于壓力和溫度的質量流量的優點。總氣流的一小部分被轉移到小的專門設計的旁路通道中，以確保層流條件。傳感器元件是 芯片浸入該流動通道的壁中。 采用MEMS技術生產的芯片包含一個加熱電阻器和兩個對稱布置在加熱器上游和下游的溫度傳感器（熱電堆）。 熱電堆的差分電壓是通過流量傳感器的質量流率的度量。 校準過程實現了傳感器信號與通過設備的總流量的分配。